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PEM气体控制系统

作者:生波尔SMEE    来源:生波尔SMEE    发布时间:2019-04-10    浏览量:
通过等离子体发射光谱监测来控制气体流量和电压,控制优化反应溅射的状态,从而获得最佳的沉积速率与膜层质量。
 
 
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